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Lecture Notes on Principles of Plasma Processing

Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem

Elektronisches Format: PDF

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-1-4615-0181-7 / 978-1461501817 / 9781461501817

Verlag: Springer US

Erscheinungsdatum: 06.12.2012

Seiten: 208

Autor(en): Francis F. Chen, Jane P. Chang

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