Modeling of Chemical Vapor Deposition of Tungsten Films

Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem

Verlag: Springer Basel, 139 Seiten

Elektronisches Format: PDF

Erscheinungsdatum: 11.11.2013

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Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Verlag: Springer Basel, Auflage 1, 139 Seiten

Erscheinungsdatum: 20.11.2013

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