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Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators

Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem


This book surveys the theory, design, fabrication and application multilayer integrated film bulk acoustic resonators. Covers use in integrated circuits, optical devices, acoustic resonators, micro-nano manufacturing, multilayer integration, and more.

Verlag: Springer Berlin, 154 Seiten

Elektronisches Format: PDF

Erscheinungsdatum: 28.08.2012

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Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)


This book surveys the theory, design, fabrication and application multilayer integrated film bulk acoustic resonators. Covers use in integrated circuits, optical devices, acoustic resonators, micro-nano manufacturing, multilayer integration, and more.

Verlag: Springer Berlin, Auflage 1, 154 Seiten

Erscheinungsdatum: 20.09.2014

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Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators

Produktform: Buch / Einband - fest (Hardcover)


This book surveys the theory, design, fabrication and application multilayer integrated film bulk acoustic resonators. Covers use in integrated circuits, optical devices, acoustic resonators, micro-nano manufacturing, multilayer integration, and more.

Verlag: Springer Berlin, Auflage 1, 154 Seiten

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