In dieser Arbeit wird ein neues Bohrverfahren zur Herstellung von sowohl großen und tiefen als auch präzisen Bohrungen mittels UKP-Laserstrahlung entwickelt. Somit können präzise Bohrungen mit Bohrungsdurchmessern größer 200 µm und Aspektverhältnissen von bis zu 25 erzeugt werden. Außerdem wird eine für das neu entwickelte Bohrverfahren ausgelegte Bearbeitungsoptik entwickelt und charakterisiert, welche eine hochdynamische Ablenkung der Laserstrahlung erlaubt.