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Entwicklung und Fertigung von Nano-Raunormalen
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Chemisch-Mechanisches Polieren (CMP) von Mikrosystemen
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Magnetische Eigenschaften mikrotechnischer Magnetkreise
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Simulationen zur Entwicklung eines Mikro-Wirbelstromsensors zur Abstandsmessung
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Fertigungstechnologieentwicklung für Giant Magnetoresistive (GMR-) Sensoren zur Magnetfeldmessung
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Fertigung eines magneto-optischen Schreib-/Lesekopfes
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Micro and Nano Fabrication
Tools and Processes
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Jahresbericht 2007
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