Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication
From Particle Scale to Feature, Die and Wafer Scales
Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem
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Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication
From Particle Scale to Feature, Die and Wafer Scales
Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)
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Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication
From Particle Scale to Feature, Die and Wafer Scales
Produktform: Buch / Einband - fest (Hardcover)
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