Diese Arbeit befasst sich mit der Entwicklung eines industrietauglichen Verfahrens, mit dem Ziel endkonturnahe, vereinzelte Mikrobauteile auf Basis der LIGA-Technik herzustellen. Diese Mikrobauteile sollen dazu beitragen neue innovative Ideen in erfolgreiche Produkte umzusetzen und auf dem Markt zu platzieren.