Im Rahmen dieser Arbeit werden die strömungs- und reaktionsrelevanten Prozesse in einem nasschemischen Prozessbecken detailliert analysiert und so ein tiefes Verständnis der Vorgänge im Becken erarbeitet. Hierbei ist besonders wichtig, das gesamte System zu verstehen und herauszuarbeiten, welche Phänomene und Bauteile Inhomogenitäten auf der Waferoberfläche hervorrufen und wie diese zu beeinflussen sind.