Bei der optischen Inspektion von spiegelnden Oberflächen wird die Deflektometrie eingesetzt. Mittels eines robotergeführten Sensorkopfes können auch Oberflächen untersucht werden, für die der Messbereich des Sensors zu klein ist, indem mehrerer Messungen mit unterschiedlichen Konfigurationen ausgeführt werden. Diese Arbeit untersucht das Problem der automatisierten Bestimmung optimaler Konfigurationen für eine vollständige Oberflächeninspektion mittels probabilistischer Planungsverfahren. Deflectometry is the method of choice for the optical inspection of specular surfaces. Surfaces, for which the measurement range is too small, can be fully inspected through a roboter-guided sensor by taking measurements with different configurations. This work is concerned with the problem of automatically determinining optimal configurations for a complete inspection by means of probabilistic planning methods.