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Plasma Processing of Semiconductors

Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem


Proceedings of the NATO Advanced Study Institute, Château de Bonas, France, 17-28 June 1996

Verlag: Springer Netherland, 613 Seiten

Elektronisches Format: PDF

Erscheinungsdatum: 11.11.2013

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Plasma Processing of Semiconductors

Produktform: Buch / Einband - fest (Hardcover)


Proceedings of the NATO Advanced Study Institute, Château de Bonas, France, 17-28 June 1996

Verlag: Springer Netherland, Auflage 1, 613 Seiten

Erscheinungsdatum: 31.05.1997

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Plasma Processing of Semiconductors

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)


Proceedings of the NATO Advanced Study Institute, Château de Bonas, France, 17-28 June 1996

Verlag: Springer Netherland, Auflage 1, 613 Seiten

Erscheinungsdatum: 12.10.2012

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