In dieser Arbeit wird ein Prozessmodell zur Beschreibung des vakuumunterstützten Senkens von dünnen Gläsern entwickelt, auf dessen Basis eine gezielte Prädiktion der Formgenauigkeit erfolgen kann. Das empirische Modell dieser Arbeit wird durch die Auswertung der Versuchsdaten entwickelt. Das empirische und analytisch erweiterte Modell wird zusätzlich durch ein FEM-Modell ergänzt, mit dessen Hilfe Ursache-Wirkung-Zusammenhänge zwischen der Erwärmung und der Umformung beschrieben werden können.