Zur zerstörungsfreien und nicht-invasiven Prüfung von Materialeigenschaften dünner semitransparenter Schichtsysteme wird ein Verfahren auf Basis der optischen Kohärenztomografie vorgestellt, das eine automatisierte Qualitätsprüfung ermöglicht. Für drei Anwendungsfelder aus den Bereichen Produktionstechnik (Schichtdicken), Biotechnologie (Qualitätssicherung im Tissue Engineering) und Medizintechnik (Arthrosegrad Knorpelgewebe) stellen die vorgestellten Verfahren einen signifikanten Vorteil gegenüber der bisher verwendeten Messmethoden dar.