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Atomic Layer Processing

Semiconductor Dry Etching Technology

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

This practical guide, written by an author actively involved in corporate R&D, provides in-depth information on etching technologies that are used in the semiconductor industry, helping engineers to select the right technologies for their task and to design etching processes.weiterlesen

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-3-527-34668-4 / 978-3527346684 / 9783527346684

Verlag: Wiley-VCH

Erscheinungsdatum: 21.04.2021

Seiten: 304

Auflage: 1

Autor(en): Thorsten Lill

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