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Atomic Layer Processing

Semiconductor Dry Etching Technology

Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem

This practical guide, written by an author actively involved in corporate R&D, provides in-depth information on etching technologies that are used in the semiconductor industry, helping engineers to select the right technologies for their task and to design etching processes.weiterlesen

Elektronisches Format: PDF

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-3-527-82418-2 / 978-3527824182 / 9783527824182

Verlag: Wiley-VCH

Erscheinungsdatum: 23.03.2021

Seiten: 304

Auflage: 1

Autor(en): Thorsten Lill

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