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Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Dieser Artikel gehört zu den folgenden Serien

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-1-4020-0525-1 / 978-1402005251 / 9781402005251

Verlag: Springer Netherland

Erscheinungsdatum: 30.04.2002

Seiten: 363

Auflage: 1

Herausgegeben von Y. Pauleau

106,99 € inkl. MwSt.
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