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Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität untersucht. Des Weiteren wurde auf die Problematik der Rauheitsmessung der in ihrer Messlänge begrenzten Mikrostrukturen eingegangen und eine Lösung mittels der spektralen Leistungsdichte erarbeitet.weiterlesen

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-86644-548-2 / 978-3866445482 / 9783866445482

Verlag: KIT Scientific Publishing

Erscheinungsdatum: 03.09.2010

Seiten: 109

Autor(en): Stephanie Kißling

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