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Chemistry of Atomic Layer Deposition

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition. The underlying principle in atomic layer deposition relies on the chemistry of a precursor with a surface. But what makes a good precursor? How does a precursor’s reaction at a surface allow it such phenomenal and exploitable characteristics? How do you design a precursor? weiterlesen

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Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-3-11-071251-3 / 978-3110712513 / 9783110712513

Verlag: De Gruyter

Erscheinungsdatum: 22.11.2021

Seiten: 113

Auflage: 1

Autor(en): Seán Thomas Barry

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