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Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Dieser Artikel gehört zu den folgenden Serien

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-540-64567-2 / 978-3540645672 / 9783540645672

Verlag: Springer Berlin

Erscheinungsdatum: 03.06.1998

Seiten: 147

Auflage: 1

Autor(en): Oliver Morlok

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