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Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf

Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem

Dieser Artikel gehört zu den folgenden Serien

IPA-IAO-Forschung und Praxis / Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, und Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart

Elektronisches Format: PDF

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-662-06656-0 / 978-3662066560 / 9783662066560

Verlag: Springer Berlin

Erscheinungsdatum: 01.07.2013

Seiten: 147

Autor(en): Oliver Morlok

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