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Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Dieser Artikel gehört zu den folgenden Serien

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-540-58511-4 / 978-3540585114 / 9783540585114

Verlag: Springer Berlin

Erscheinungsdatum: 21.10.1994

Seiten: 126

Auflage: 1

Zielgruppe: Research

Autor(en): Walter Olbrich

79,99 € inkl. MwSt.
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