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Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren

Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem

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IPA-IAO-Forschung und Praxis / Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, und Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart

Elektronisches Format: PDF

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-642-47892-5 / 978-3642478925 / 9783642478925

Verlag: Springer Berlin

Erscheinungsdatum: 08.03.2013

Seiten: 126

Autor(en): Walter Olbrich

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