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Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.weiterlesen

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-86644-496-6 / 978-3866444966 / 9783866444966

Verlag: KIT Scientific Publishing

Erscheinungsdatum: 01.06.2010

Seiten: 125

Autor(en): Thomas Grund

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