Elektromagnetische Aktoren nutzen die magnetische Wechselwirkung zwischen Magneten und Erregerspulen. Permanentmagnete dienen dabei in einer Vielzahl von Anwendungsfällen der Generierung eines statischen Magnetfeldes. Die Prozesse der Dünnfilmtechnik erlauben die Fertigung integrierter elektromagnetischer Mikroaktoren. Für die Realisierung von effektiven magnetischen Mikroaktoren haben Permanentmagnete einen entscheidenden Einfluss, die Integration dieser Permanentmagnete stellt jedoch eine große Herausforderung dar. Diese Arbeit stellt die Entwicklung eines Dünnfilm-Permanentmagneten aus Samarium-Kobalt zur Anwendung in magnetischen Mikroaktoren vor. Herausforderungen sind die Entwicklung eines Kathodenzerstäubungs-prozesses, der die schnelle Abscheidung von bis zu 30 µm dicken Schichten von Samarium-Kobalt gestattet, die Schaffung eines Temper-Verfahrens, welches das amorph abgeschiedene Material in eine für die Anwendung notwendige kristalline Struktur umwandelt, und die Lösung der sich insbesondere aus den Temperverfahren ergebenen Prozesskompatibilitäts- und Systemintegrationsfragen.weiterlesen