Im Rahmen dieser Arbeit wird ein linearer Mikromotor nach dem Synchron-prinzip entworfen und gefertigt sowie messtechnisch untersucht. Der Motor besteht aus einem Ständer mit dünnfilmtechnisch hergestellten Erregerspulen und einem Läufer mit Hartmagneten. Beim Läufer werden zwei unterschiedliche Varianten mit hybrid eingeklebten hartmagnetischen Folien bzw. mit dünnfilmtechnisch hergestellten hartmagnetischen Schichten untersucht. Als Fertigungstechniken kommt zu Strukturierungs- und Isolierungszwecken die Photolithographie mit verschiedenen Resisten zum Einsatz. Für die Erzeugung der Funktionsstrukturen aus leitenden bzw. magnetischen Materialien dient vorwiegend die galvanische Abscheidung. Um eine reibungsarme Führung des linearen Läufers und einen sicheren Vorschub des Antriebes zu gewährleisten, wird eine eigens entwickelte lineare Kugelführung verwendet. Schließlich müssen die hartmagnetischen Strukturen definiert aufmagnetisiert werden. Die Berechnung, Konstruktion und Herstellung dieser Vorrichtung mit speziellen magnetischen Eigenschaften ist ebenfalls Gegenstand dieser Arbeit.weiterlesen