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Experimentelle und numerische Untersuchungen zum Schädigungsverhalten von Siliziumsubstraten während des Diamantdrahtsägeprozesses

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Dieser Artikel gehört zu den folgenden Serien

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-86012-647-9 / 978-3860126479 / 9783860126479

Verlag: Technische Universität Bergakademie Freiberg

Erscheinungsdatum: 22.01.2021

Seiten: 130

Autor(en): Florian Wallburg

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