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Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices

Produktform: Buch / Einband - fest (Hardcover)

An extrapolation of ULSI scaling trends indicates that minimum feature sizes below 0.1 mu and gate thicknesses of weiterlesen

Dieser Artikel gehört zu den folgenden Serien

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-0-7923-5007-1 / 978-0792350071 / 9780792350071

Verlag: Springer Netherland

Erscheinungsdatum: 31.03.1998

Seiten: 507

Auflage: 1

Herausgegeben von Evgeni Gusev, Eric Garfunkel, Alexander Vul'

160,49 € inkl. MwSt.
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