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Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices

Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem

An extrapolation of ULSI scaling trends indicates that minimum feature sizes below 0.1 mu and gate thicknesses of weiterlesen

Elektronisches Format: PDF

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978- / 978-9401150088 / 9789401150088

Verlag: Springer Netherland

Erscheinungsdatum: 06.12.2012

Seiten: 507

Herausgegeben von Evgeni Gusev, Eric Garfunkel, Alexander Vul'

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