Funktionale Nanostrukturen in smarten Mikrosystemen Nanostrukturen, die in Mikrosysteme integriert werden können, liefern wichtige Beiträge, indem sie • elektronische Komponenten verkleinern, • neue Funktionalitäten ermöglichen, • Eigenschaften wesentlich verbessern, • Sensoren empfindlicher oder selektiver werden lassen, • den Energiebedarf senken, • und bei der Systemintegration und der AVT helfen. Für die industrielle Nutzung gilt es, wichtige Fragen zu klären: • Wie werden Nanostrukturen ins Mikrosystem integriert? • Welche Fertigungsverfahren werden genutzt? • Wie stabil sind sie unter realen Einsatzbedingungen? • Wie können Nanostrukturen im Mikrosystem charakterisiert und ihre Qualität sichergestellt werden? • Wie können die Chancen der Mikro-Nano-Integration Kunden und Mitarbeitern vermittelt werden? Neben Mikrosensorik und AVT rücken neue Technologien wie die 2D-Elektronik in den Fokus, die die Integration komplexer Systeme auch auf Folien und Gläsern ermöglichen.weiterlesen