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Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.weiterlesen

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-86644-843-8 / 978-3866448438 / 9783866448438

Verlag: KIT Scientific Publishing

Erscheinungsdatum: 14.06.2012

Seiten: 113

Autor(en): Dominik Stöffler

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