Interferenzkomparator zur Längenmessung mit tunnelmikroskopischen Tastern
Dissertation
Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)
Endmaße spielen in der Messtechnik eine wesentliche Rolle, um Längen darzustellen und weiterzugeben.
Bei der Kalibrierung wird die Länge bestimmt und mit der Messunsicherheit angegeben. Als Kalibrierverfahren finden bei Parallelendmaßen zwei unterschiedliche Verfahren Anwendung, die in der Norm explizit genannt sind. Endmaße, die als Referenzendmaße eingesetzt werden, werden mit einem interferenziellen Verfahren mit der höchsten Genauigkeit kalibriert (Fundamentalmessung). Die zweite Möglichkeit der Kalibrierung von Endmaßen besteht in einen mechanischen Vergleich mit einem Referenzendmaß (Kalibrierung durch Unterschiedsmessung).weiterlesen
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