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Introductory MEMS

Fabrication and Applications

Produktform: Buch / Einband - fest (Hardcover)

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-0-387-09510-3 / 978-0387095103 / 9780387095103

Verlag: Springer US

Erscheinungsdatum: 21.12.2009

Seiten: 440

Auflage: 1

Autor(en): Richard A. Layton, Thomas M. Adams

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