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Jenaer Arbeiten zur Elektronenstrahl-Lithographie

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

In Jena hat die Elektronenstrahl-Lithographie eine erfolgreiche Entwicklung genommen. Nach 1990 verschärften sich die Wettbewerbsbedingungen. Andererseits war die Teilnahme am internationalen Gedanken- und Ideenaustausch deutlich leichter möglich als vorher. Zahlreiche Neuerungen sicherten die technische und kommerzielle Attraktivität der Geräte, die unter den Namen ZBA 31/32, SB250,SB350,SB3050 den Weg in viele Halbleiterfertigungszentren, Maskshops und Forschungszentren der Welt fanden.weiterlesen

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-939718-79-6 / 978-3939718796 / 9783939718796

Verlag: Verlag Vopelius

Erscheinungsdatum: 01.11.2014

Seiten: 168

Auflage: 1

Autor(en): Peter Hahmann

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