Im Buch sind die Tagungsbeiträge zum Kolloquium Mikroproduktionstechnik der Sonderforschungsbereiche 440, 499 und 516 abgedruckt. Die Beiträge geben den Stand der Wissenschaft in den Bereichen Entwurf und Simulation, Montagetechniken, Verbindungstechniken und Fertigungstechniken von Mikrosystemen und deren Komponenten wieder, mit denen sich die drei Sonderforschungsbereiche befassen.weiterlesen