Spanende Präzisionsfertigung stellt hohe Anforderungen an die zur Führung von Werkstück und/oder Werkzeug verwendeten Führungssysteme. Bekannte konventionelle Führungssysteme erfüllen diese nur eingeschränkt und führen somit zu herabgesetzter Produktivität der Fertigung. Mit dem Ziel der Leistungssteigerung wurden in dieser Arbeit neuartige Lagerstellen, basierend auf Ultraschall-Levitation und magnetischer Führung untersucht. Ein planar wirkendes, in drei Freiheitsgraden einstellbares sowie ein in fünf Freiheitsgraden einstellbares Linearführungssystem wurden konzipiert, aufgebaut und anhand ihrer Stellwege, Stelldynamik und dynamischer Nachgiebigkeit charakterisiert. Mit den neuartigen Lagerstellen aufgebaute Führungssysteme kombinieren für die Präzisionsfertigung vorteilhafte Eigenschaften in bisher einzigartiger Weise: Die Führungssysteme arbeiten berührungslos, somit verschleißfrei, umgriff- und medienfrei, sind zudem in ihrer Kraftwirkung einstellbar und aktiv positionierbar.weiterlesen