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Mems/Nems

(1) Handbook Techniques and Applications Design Methods, (2) Fabrication Techniques, (3) Manufacturing Methods, (4) Sensors and Actuators, (5) Medical Applications and MOEMS

Produktform: Medienkombination

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-0-387-24520-1 / 978-0387245201 / 9780387245201

Verlag: Springer US

Erscheinungsdatum: 17.05.2006

Seiten: 2094

Auflage: 1

Herausgegeben von Cornelius T. Leondes

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