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Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen

Dissertation

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Es wird die Prototypenentwicklung eines Mikrotasters für die dreidimensionale dimensionelle Metrologie an Komponenten der Mikrosystemtechnik beschrieben.weiterlesen

Dieser Artikel gehört zu den folgenden Serien

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-89701-698-9 / 978-3897016989 / 9783897016989

Verlag: Wirtschaftsverlag N. W. Verlag für neue Wissenschaft

Erscheinungsdatum: 01.01.2001

Seiten: 118

Auflage: 1

Autor(en): Thomas Kleine-Besten

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