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Micro and Nano Fabrication

Tools and Processes

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-3-662-50826-8 / 978-3662508268 / 9783662508268

Verlag: Springer Berlin

Erscheinungsdatum: 06.10.2016

Seiten: 519

Auflage: 1

Autor(en): Volker Saile, Hans H. Gatzen, Jürg Leuthold

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