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Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-Integration

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-1-4419-3957-9 / 978-1441939579 / 9781441939579

Verlag: Springer US

Erscheinungsdatum: 29.10.2010

Seiten: 292

Auflage: 1

Autor(en): Jean-Pierre Raskin, Jean Laconte, Denis Flandre

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