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Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-Integration

Produktform: Buch / Einband - fest (Hardcover)

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-0-387-28842-0 / 978-0387288420 / 9780387288420

Verlag: Springer US

Erscheinungsdatum: 11.04.2006

Seiten: 292

Auflage: 1

Autor(en): Jean-Pierre Raskin, Jean Laconte, Denis Flandre

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