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Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-Integration

Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem

Elektronisches Format: PDF

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-0-387-28843-7 / 978-0387288437 / 9780387288437

Verlag: Springer US

Erscheinungsdatum: 11.10.2006

Seiten: 292

Autor(en): Jean-Pierre Raskin, Jean Laconte, Denis Flandre

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