Dieses Buch gibt einen umfassenden Überblick über die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Im Mittelpunkt steht der Systemgedanke, d.h. die Kombination von Mikroelektronik und Mikromechanik zu integrierten Mikrosystemen, die zunehmend für Steuer- und Regelaufgaben in der Umwelt-, Verkehrs-, Verfahrens-, Haus- und Fertigungstechnik sowie der Medizin eingesetzt werden. Mehr als 200 Abbildungen und Tabellen illustrieren den klar strukturierten Text. Nach einer kurzen allgemeinen Einführung behandeln die Autoren systematisch die theoretischen und methodischen Grundlagen für eine erfolgreiche Arbeit auf diesem zukunftsträchtigen Gebiet. Parallelen zur Mikroelektronik werden gezeigt, eine detaillierte Beschreibung der verwendeten Materialien und eingesetzten Techniken schließt sich an. Breiten Raum geben die Autoren den wichtigen Verfahren wie Dünnschichttechnik, Lithographie, Silizium-Mikromechanik, LIGA-Verfahren und dem Gebiet der Aufbau- und Verbindungstechniken, bevor zum Abschluß die Grundzüge des Systemgedankens beschrieben werden. Das Werk wendet sich an Ingenieurwissenschaftler, besonders der Fachrichtungen Mikrosystemtechnik, Sensorik, Elektrotechnik, Maschinenbau, Meß- und Regelungstechnik sowie an Physiker.weiterlesen