In der vorliegenden Arbeit wird ein mikromechanischer Plattformprozess auf SOI-Basis vorgestellt und mit diesem Arrays aus Metalloxid- und MOS-Gassensoren realisiert. Mikromechanisch herstellte, beheizbare Silizium-Brückenstrukturen (Hotplates) ermöglichen dabei einen leistungsarmen Betrieb der chemischen Gassensoren. Sie benötigen typische Temperaturen von 400°C für die katalytische Gasreaktion. Ziel für das Gesamtsystem ist es, einen geringeren Leistungsverbrauch zu erreichen als den für einen einzelnen, herkömmlichen Gassensor (1000mW). Ein 4er Array samt elektronischer Peripherie kann so mit 664mW betrieben werden und gleichzeitig zur Zielgasunterscheidung eingesetzt werden. Der Einfluss geometrischer Designparameter auf die thermischen Eigenschaften der Hotplate wurde systematisch untersucht. Aus den berechneten und gemessen Daten zeigte sich bei 400°C ein von der Geometrie der Hotplates nahezu unabhängiger Beitrag von ca. 41mW, der durch die Wärmeleitung der umgebenden Luft verursacht wird, sowie ein geometrieabhängiger Beitrag, der durch die Wärmeleitung der Silizium-Aufhängungen bedingt ist. Leistungsärmste Silizium-Hotplates konnten mit nur 56mW betrieben werden. Die Langzeitstabilität des Hotplate-Heizers wurde durch zwei verschiedene Methoden auf ca. 40.000h extrapoliert. Die mechanische Stabilität der Hotplates ist mit einer Kraftmessdose untersucht worden und zeigte, in wie weit unterschiedlichen Hotplate-Geometrien unterschiedlich stark belastet werden können. Aus diesen mechanischen und den thermischen Messungen ist zusammen mit prozesstechnischen Überlegungen ein konsolidierter Prozess definiert worden.weiterlesen