Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Heute arbeiten bereits kleine und mittelständische Unternehmen auf diesem Gebiet. Zur erfolgreichen Nutzung der Vorteile der Mikrosystemtechnik benötigt der Ingenieur fundierte Kenntnisse verschiedener Disziplinen wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren, Systemtheorie und gleichzeitig für die praktische Anwendung unverzichtbare Informationen aus Spezialgebieten. Das vorliegende Buch ist so aufgebaut, dass es in beiden Bereichen das notwendige Wissen vermittelt. weiterlesen