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Mikrosystemtechnik für Ingenieure

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Außerdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlägt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-Tech Entwicklungen.weiterlesen

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-527-30536-0 / 978-3527305360 / 9783527305360

Verlag: Wiley-VCH

Erscheinungsdatum: 09.05.2005

Seiten: 590

Auflage: 3

Autor(en): Wolfgang Menz, Oliver Paul, Jürgen Mohr

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