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Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-86012-640-0 / 978-3860126400 / 9783860126400

Verlag: Technische Universität Bergakademie Freiberg

Erscheinungsdatum: 03.11.2020

Seiten: 206

Autor(en): Daniel Treyer

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