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Optical Metrology for Precision Engineering

Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem

This book provides readers the fundamental principles, theories and techniques of precision metrology, including nanometrology. Abundant examples and applications of different precision machine tools are also presented, making it an essential reference book for scientists, students and engineers in metrology, geometry, precision manufacturing, nanotechnology and mechanical engineering. weiterlesen

Elektronisches Format: PDF

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-3-11-054236-3 / 978-3110542363 / 9783110542363

Verlag: De Gruyter

Erscheinungsdatum: 22.11.2021

Seiten: 655

Auflage: 1

Autor(en): Yuki Shimizu, Wei Gao

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