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Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography

Produktform: Buch / Einband - fest (Hardcover)

Dieser Artikel gehört zu den folgenden Serien

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-3-319-76293-7 / 978-3319762937 / 9783319762937

Verlag: Springer International Publishing

Erscheinungsdatum: 03.04.2018

Seiten: 138

Auflage: 1

Autor(en): Youngsoo Shin, Seongbo Shim

106,99 € inkl. MwSt.
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