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Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Dieser Artikel gehört zu den folgenden Serien

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-3-030-09455-3 / 978-3030094553 / 9783030094553

Verlag: Springer International Publishing

Erscheinungsdatum: 08.02.2019

Seiten: 138

Auflage: 1

Autor(en): Youngsoo Shin, Seongbo Shim

106,99 € inkl. MwSt.
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