Die vorliegende Dissertation widmet sich der Entwicklung eines piezoelektrischen MEMS Mass Flow Controllers (MFC), der die Kraftstoffzufuhr eines im sechsten Rahmenprogramm der EU geförderten Projektes mit der Scuola Superiore Sant’Anna, Italien, und dem Lund Institute of Technology, Schweden, entwickelten miniaturisierten Generators mit HCCI- Motor realisiert. Anhand der Vorgaben des Motorkonzepts wird ein neuartiges MFC-Design entwickelt. Das Kernstück ist ein piezoelektrisch betriebenes, „normal-geschlossenes“ Mikroventil mit druckabhängiger Schließkraftverstärkung. Integrierte Piezowiderstände dienen zur Messung der Ventilöffnung und eine pn-Diode ermöglicht die Temperaturmessung. Der Massenfluss wird bei entsprechender Kalibration anhand der Ventilöffnung bestimmt.weiterlesen