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Plasma Processing of Semiconductors

Produktform: Buch / Einband - fest (Hardcover)

contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications. Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge. weiterlesen

Dieser Artikel gehört zu den folgenden Serien

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-0-7923-4567-1 / 978-0792345671 / 9780792345671

Verlag: Springer Netherland

Erscheinungsdatum: 31.05.1997

Seiten: 613

Auflage: 1

Zielgruppe: Research

Herausgegeben von Paul Williams, P.F. Williams

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